玻璃平面度測量儀規(guī)格參數(shù):
測量行程:300x200x150mm
測頭精度:<0.5μm
測頭型號(hào):S/T
XY軸精度:E2=(3+L/200)μm
XY軸重復(fù)性:<3μm
Z軸精度:E1=(3+L/200)μm
Z軸重復(fù)性:<3μm
X、Y軸加速度:0-250mm/s^2
Z軸加速度:0-110mm/s^2
X、Y軸速度:0-150mm/s
Z軸速度:0-50mm/s
光 學(xué) 尺:1μm(0.5μm可選)
A軸
轉(zhuǎn)動(dòng)范圍:360°
大速度 :25°/s
分 辨 率:0.00125°
精 度:<0.005°
材 質(zhì):硬鋁合金
臺(tái)面承重:30kg
底座材質(zhì):花崗巖
整機(jī)尺寸:620x790x875mm
整機(jī)重量:180kg
控制方式:半閉環(huán)
電源供給:110V~220V±10% 50/60HZ
環(huán)境溫度:20℃
環(huán)境濕度:45%~75% |