四質(zhì)譜計(jì)是在高真空條件下,離子源的電子轟擊氣體分子使其離化。離子進(jìn)入四過(guò)濾器按不同質(zhì)荷比分離,采集離子流,放大后進(jìn)行數(shù)據(jù)處理,獲得相應(yīng)的質(zhì)譜數(shù)據(jù)。
四質(zhì)譜計(jì)可安裝在使用者的高真空設(shè)備上進(jìn)行殘氣分析,亦可配備適當(dāng)?shù)母哒婵障到y(tǒng)和進(jìn)樣裝置作為立的分析儀器使用。離子流采集的常規(guī)結(jié)構(gòu)為法拉弟筒 / 通道倍增器復(fù)合式(即 FC/CEM )。離子流放大器的輸入高阻設(shè)為10M Ω ,1G Ω,100G Ω 三擋,采用電子倍增器方式時(shí)一般選用 1G Ω高阻或 10M Ω高阻。儀器控制與數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)適用于WindowsXP或 Windows2000,儀器提供模擬譜圖,棒狀譜圖和多達(dá)10個(gè)離子的多離子監(jiān)測(cè)譜圖。數(shù)據(jù)系統(tǒng)的接口界面由80C 196單片機(jī)(16位)以及 A/D、D/A 等構(gòu)成, RS232 串口與電腦通訊實(shí)現(xiàn)儀器的控制與數(shù)據(jù)處理。儀器安裝方便,操作簡(jiǎn)單,
四質(zhì)譜計(jì)應(yīng)用與真空科學(xué)、電子、半導(dǎo)體工業(yè)、石油化工的催化研究等多種領(lǐng)域。另外,本儀器可以派生為儀器,如,已用于計(jì)量作為鑒定分子漏孔的氦四質(zhì)譜計(jì)。